Spin kaplama - Spin coating

Laurell Technologies WS-400 spin kaplayıcı , silikon bir gofret yüzeyine fotorezist uygulamak için kullanılır .

Döndürerek kaplama , düz alt tabakalar üzerine tek tip ince filmler yerleştirmek için kullanılan bir prosedürdür . Genellikle, düşük hızda dönen veya hiç dönmeyen alt tabakanın merkezine az miktarda kaplama malzemesi uygulanır. Alt tabaka daha sonra kaplama malzemesini merkezkaç kuvveti ile yaymak için 10.000 rpm'ye kadar bir hızda döndürülür . Döndürerek kaplama için kullanılan bir makineye döndürerek kaplayıcı veya basitçe döndürücü denir .

Akışkan, filmin istenen kalınlığına ulaşılana kadar alt tabakanın kenarlarından dönerken dönmeye devam edilir. Uygulanan çözücü genellikle uçucudur ve aynı anda buharlaşır . Eğirmenin açısal hızı ne kadar yüksek olursa , film o kadar ince olur. Filmin kalınlığı ayrıca çözeltinin viskozitesine ve konsantrasyonuna ve çözücüye bağlıdır. Döndürerek kaplamanın öncü teorik analizi Emslie ve diğerleri tarafından yapılmıştır ve daha sonraki birçok yazar tarafından genişletilmiştir (dönerek kaplamada yayılma oranını inceleyen Wilson ve diğerleri; ve Danglad-Flores ve diğerleri, biriken film kalınlığını tahmin etmek için evrensel açıklama).

Döndürerek kaplama, nano ölçekli kalınlıklara sahip tek tip ince filmler oluşturmak için kullanılabileceği sol-jel öncüleri kullanılarak cam veya tek kristal substratlar üzerindeki fonksiyonel oksit katmanlarının mikrofabrikasyonunda yaygın olarak kullanılmaktadır . Fotolitografide , yaklaşık 1 mikrometre kalınlığında fotorezist katmanları biriktirmek için yoğun olarak kullanılır . Fotorezist tipik olarak 30 ila 60 saniye boyunca saniyede 20 ila 80 devirde döndürülür. Ayrıca polimerlerden yapılmış düzlemsel fotonik yapıların imalatında da yaygın olarak kullanılmaktadır.

İnce filmlerin döndürülerek kaplanmasının bir avantajı , film kalınlığının tek biçimli olmasıdır. Kendiliğinden yayılan sayesinde kalınlıklar% 1'den fazla değişiklik göstermez. Bununla birlikte, polimerlerin ve fotorezistlerin daha kalın filmlerini döndürerek kaplama , düzlemselleşmesi fiziksel sınırları olan nispeten büyük kenar boncuklarıyla sonuçlanabilir.

Referanslar

daha fazla okuma

  • S. Middleman ve AK Hochberg. "Yarı İletken Cihaz İmalatında Proses Mühendisliği Analizi". McGraw-Hill, s. 313 (1993)
  • Schubert, Dirk W.; Dunkel, Thomas (2003). "Moleküler bir bakış açısıyla kaplamayı döndürün: konsantrasyon rejimleri, molar kütlenin etkisi ve dağılımı". Malzeme Araştırma Yenilikleri . Bilgi İngiltere Limited. 7 (5): 314-321. doi : 10.1007/s10019-003-0270-2 . ISSN  1432-8917 . S2CID  98374776 .

Dış bağlantılar