Çukur yoğunluğunu Etch - Etch pit density
Aşındırma çukur yoğunluğu ( EPD ) kalitesi için bir ölçüttür yarı iletken plakalar .
içindekiler
gravür
Bir aşındırma çözeltisi aşındırma çok ince bisküvi yüzeyi üzerine uygulanır oranı artırılır dislokasyon arasında kristal elde çukurları . İçin GaAs bir genellikle erimiş kullanan KOH bir yaklaşık 40 dakika süre ile 450 santigrat derece zirkonyum pota . Yoğunluk çukurlar ile belirlenebilir optik kontrast mikroskobu . Silikon gofret genellikle 100 cm <çok düşük bir yoğunluğa sahip -2 yarı yalıtım GaAs gofretler 10 düzeyinde bir yoğunluğa sahipken 5 cm -2 .
Germanyum dedektörleri
Yüksek saflıkta Germanyum detektörler Ge kristaller impuriteleri azaltmak üzere dislokasyon yoğunluğu kontrol edilen bir aralık ile yetiştirilebilir gerektirir. Aşındırma adımı yoğunluk gereksinim aralığı 10 içinde, tipik olarak 3 10 bulundunuz 4 cm -2 .
Standartlar
Aşındırma çukur yoğunluğuna göre belirlenebilir DİN 50.454-1 ve ASTM F 1404.
Referanslar
 |
Bu standartlar - veya ölçüm lı makale bir taslaktır . Sen Vikipedi'ye katkıda bulunabilirsiniz genişletmeden . |