hattın ön uç - Front end of line
Ön uç-of-line ( FEOL ) birinci kısmı olan IC imalat tek tek cihazlar ( transistörler , kondansatörler , rezistanslar vb) desenli yarı iletken . FEOL genellikle, metal bağlantı tabakaların birikimini (ancak bu derece dahil değil) 'ye kadar olan her şeyi kapsar.
FEOL tüm işlemleri içerir CMOS tamamen izole CMOS elemanları oluşturmak için gerekli imalat:
- Tipinin seçilmesi gofret kullanılacak; Kimyasal-mekanik düzleştirme ve gofret temizliği.
- Sığ siper izolasyonu (STI) (ya da LOCOS erken işlemlerde, özelliği boyutu > 0.25 um)
- Eh formasyonu
- Kapı modülü oluşumu
- Kaynak ve boşaltma modülü oluşumu
Ayrıca bakınız
Referanslar
daha fazla okuma
- "CMOS: Devre Tasarım, Düzen ve Simülasyon" Wiley-IEEE, 2010. ISBN 978-0-470-88132-3 . sayfalar 177-178 (Bölüm 7.2 CMOS Süreç Entegrasyonu); sayfalar 180-199 (7.2.1 Frontend-of-the-line entegrasyon)
Bu bilgisayar donanım makale bir taslaktır . Sen Vikipedi'ye katkıda bulunabilirsiniz genişletmeden . |