hattın ön uç - Front end of line

BEOL (metalizasyon tabakası) ve FEOL (cihazlar).
CMOS imalat süreci

Ön uç-of-line ( FEOL ) birinci kısmı olan IC imalat tek tek cihazlar ( transistörler , kondansatörler , rezistanslar vb) desenli yarı iletken . FEOL genellikle, metal bağlantı tabakaların birikimini (ancak bu derece dahil değil) 'ye kadar olan her şeyi kapsar.

FEOL tüm işlemleri içerir CMOS tamamen izole CMOS elemanları oluşturmak için gerekli imalat:

  1. Tipinin seçilmesi gofret kullanılacak; Kimyasal-mekanik düzleştirme ve gofret temizliği.
  2. Sığ siper izolasyonu (STI) (ya da LOCOS erken işlemlerde, özelliği boyutu > 0.25 um)
  3. Eh formasyonu
  4. Kapı modülü oluşumu
  5. Kaynak ve boşaltma modülü oluşumu

Ayrıca bakınız

Referanslar

daha fazla okuma

  • "CMOS: Devre Tasarım, Düzen ve Simülasyon" Wiley-IEEE, 2010. ISBN  978-0-470-88132-3 . sayfalar 177-178 (Bölüm 7.2 CMOS Süreç Entegrasyonu); sayfalar 180-199 (7.2.1 Frontend-of-the-line entegrasyon)